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¿Qué es la medición del espesor de la capa?


Medición del espesor de la capa por medio de transmisión
Suponiendo que se aplica una capa fina difusa (en el rango μm) sobre una película ópticamente transparente (por ejemplo, 100 micras de espesor), se ​​puede determinar el espesor de la capa difusa con gran precisión por medio de transmisión óptica.
 
Estructurade capa:


Principio de medición
Como fuente de luz, se utiliza una matriz de LED [luz blanca (VIS) o infrarroja (IR 860 nm)].

Dependiendo de la naturaleza y el espesor de la capa, se utiliza una fuente de luz difusa (SI-SLU-16-DIF o SI-SLU-16-DIF-IR) o una fuente de luz con baja apertura numérica (luz casi colimada) (SI-SLU -16 o SI-SLU-16-IR).

Como detector se utiliza un detector de color denominado True Color, con escasa abertura numérica (pequeña abertura de entrada) del tipo SPECTRO-3-SLU-SA o un sensor de contraste para la parte de luz visible (SPECTRO-1-SLU-SA) y/o para la parte de IR (SPECTRO-1-SLU-SA-IR).

Se mide mediante el método de luz transmitida, es decir, el transmisor y el receptor están dispuestos en el respectivo lado opuesto de la capa que se examinará.

 
Después que la luz del lado transmisor incida sobre la capa difusa (I0), desde este se dispersa a todo el espacio, y una pequeña porción llega al receptor (I (d)).

Eneste caso, se aplica lo siguiente:

 
       
 
 

 
De esta forma, para un cambio en el espesor de capa se da lo siguiente:

 
 


 
Se puede hacer una calibración del sistema de sensor para el espesor real de la capa si se conoce el grosor de dos muestras: d1, d2

→ Con esto se puede medir I(d1) y I(d2).
→ Determinación de la constante ε·c:



 
 
Por lo demás, la constante K se puede determinar por medio de x I0 xc ε·y I(d1) (se supone, que no cambia durante la medición I0).


Con la
se puede determinar entonces el espesor absoluto de la capa.

Configuración de medición
El espesor de la capa es dado por el sistema de medición (según el tipo) a partir del valor analógico (tensión y/o corriente) o a través de la interfaz serial.


 


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