Traducir esta página:
Ce este măsurarea grosimii stratului?
Măsurarea grosimii stratului cu ajutorul transmisiei
Presupunând că un strat subţire difuz (în intervalul μm) este aplicat pe o peliculă transparentă optic (de exemplu, cu o grosime de 100 μm), grosimea stratului difuz poate fi determinată cu precizie ridicată cu ajutorul transmisiei optice.
Compoziţia stratului:
Principiu de măsurare:
Ca sursă de lumină se foloseşte o matice LED [lumină albă (VIS) sau lumină infraroşie (IR cu 860 nm)].
În funcţie de compoziţia şi grosimea stratului, se foloseşte o sursă difuză de lumină (SI-SLU-16-DIF sau SI-SLU-16-DIF-IR) sau o sursă de lumină cu apertură numerică redusă (lumină aproape paralelă direcţional) (SI-SLU-16 or SI-SLU-16-IR).
Ca detector se foloseşte un detector de culoare cu apertură numerică mică (o deschidere mică la intrare) de tipul SPECTRO-3-SLU-SA sau un senzor de contrast pentru componenta luminoasă vizibilă (SPECTRO-1-SLU-SA) sau componenta IR (SPECTRO-1-SLU-SA-IR)
Măsurarea se face prin metoda cu fascicul, adică transmiţătorul şi receptorul sunt dispuse pe părţile opuse ale stratului care trebuie verificat.
Atunci când, pe partea transmiţătorului, lumina atinge stratul difuz (I0), aceasta este dispersată difuz de acest strat în întregul spaţiu şi numai o mică parte din lumină ajunge la receptor (I(d)).
Relaţia aici este următoarea:
 |
 |
Când grosimea stratului se modifică, rezultatul este următorul:
 |
 |
Sistemul de senzori poate fi ajustat la grosimea efectivă a stratului, dacă se cunoaşte grosimea a două mostre: d1, d2
→ I(d1) şi I(d2) pot fi astfel măsurate.
→ Determinarea constantei ε·c:
Mai mult, constanta K x I0 poate fi determinată cu ajutorul ε·c şi I(d1) (presupunând că I0 nu se schimbă în timpul măsurătorii).
.jpg){kind=small}
Grosimea absolută a stratului poate fi determinată prin:
.jpg)
Setarea măsurării
Grosimea stratului este înregistrată de sistemul de măsurare (în funcţie de tip) ca valoare analogă (tensiune sau curent) ori prin interfaţa serială.
)
TOP